一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备技术方案

技术编号:43610023 阅读:16 留言:0更新日期:2024-12-11 14:54
本技术涉及一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备,该独立自传系统包括框架体,框架体的第一相对框内侧壁设有多个第一通孔,框架体的第二相对框内侧壁设有多个第二通孔,第一通孔和第二通孔相对设置;框架体的至少部分区域设有腔室,与第一通孔联通,且腔室内设有传动机构;第一自转轴件,设于第一通孔内,且与传动机构电连接;第二自传轴件,设于第二通孔内;至少一个待镀工件,待镀工件通过第一自转轴件和第二自传轴件固定于框架体中部区域;驱动装置设置在框架体内壁或内部,且与传动机构电连接,驱动待镀工件做自转运动,该系统结构简单,适用于多种柱状镀膜需求,通用于多种溅射设备,成本低,可拆卸且镀膜效率高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学镀膜,尤其涉及一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备


技术介绍

1、目前的光学蒸镀机及溅射镀膜设备只有公转机构,或者自传机构需配公转机构才能启动,而定制自转机构一般费用高,改装时间长,改回原始自传机构费时费力,不利于少量多样之不同类型产品切换镀膜,同时也不适用于多种镀膜设备通用。

2、因此,基于上述问题,亟需一种可独立进行自转,适用于多种镀膜设备通用的自传系统。


技术实现思路

1、根据现有技术中存在的问题,本技术提供一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备,能够独立自传,待镀膜工件可拆卸调整,有利于各种镀膜设备通用。

2、本技术的技术方案如下:

3、本申请提供了一种用于镀膜的独立自传系统,包括:

4、框架体,框架体包括中部区域和环绕中部区域的外框区域,外框区域包括第一相对框和第二相对框,第一相对框的内侧壁设有多个第一通孔和多个第二通孔,第一通孔和第二通孔相对设置;外框区域的至少部分区域设有腔室,腔室与第一通孔联通,且腔室内设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述传动机构至少包括传动轮及传动链。

3.根据权利要求2所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述传动轮为链轮,所述传动链为链条或皮带;或者所述传动轮为齿轮,所述传动链为传动齿轮。

4.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述框架体的外壁四周至少部分区域设有突起的卡块。

5.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述框架体的第二相对框为相互平行设置的升降架。

>6.根据权利要求1...

【技术特征摘要】

1.一种用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述传动机构至少包括传动轮及传动链。

3.根据权利要求2所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述传动轮为链轮,所述传动链为链条或皮带;或者所述传动轮为齿轮,所述传动链为传动齿轮。

4.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述框架体的外壁四周至少部分区域设有突起的卡块。

5.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,所述框架体的第二相对框为相互平行设置的升降架。

6.根据权利要求1所述的用于镀膜的独立自传系统,其特征在于,多个所述第一通孔等间距排列设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈志成李茂云廖育民郑昱
申请(专利权)人:杭州灵犀微光科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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