温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及晶圆加热技术领域，具体为一种分区承载式晶圆自动加热装置，包括机架，所述机架顶部的左右侧均固定设置有输送架，且机架的顶部通过支撑柱固定设置有固定架，所述固定架底部设置有移料组件，且固定架底部的中部还设置有加热组件，所述机架的内部从左...
该专利属于昆山科迪特精密工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山科迪特精密工业有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。