下载一种功率半导体键合压力控制机构的技术资料

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本技术公开了一种功率半导体键合压力控制机构,涉及到半导体键合技术领域,包括连接架,连接架的顶部固定有向下的位移传感器与压力发生装置,压力发生装置与位移传感器的下端均配合有超声波换能器,压力发生装置内上下分别设置有机动腔与压力腔,机动腔内上下...
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