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本发明公开了本发明的目的在于提供一种用于单晶硅片清洗机的循环换药液方法及系统，通过判断进入各碱性药液槽体的待清洗硅片的数量参数n是否等于N或者2N+1或者3N+2或者4N+3，满足时将进行相应碱性药液槽体的药液更换，同时其余三个碱性药液槽体...该专利属于乐山市京运通半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐山市京运通半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了本发明的目的在于提供一种用于单晶硅片清洗机的循环换药液方法及系统，通过判断进入各碱性药液槽体的待清洗硅片的数量参数n是否等于N或者2N+1或者3N+2或者4N+3，满足时将进行相应碱性药液槽体的药液更换，同时其余三个碱性药液槽体...