下载快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统的技术资料

文档序号:43593276

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本技术公开了一种快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统。MBE腔体结构包括:MBE生长腔和快速传样腔,MBE生长腔与快速传样腔相连通,MBE生长腔与快速传样腔之间具有可供掉落的样品通过的连接通道,快速传样腔上设置有用于取出样品的取...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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