快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统技术方案

本技术公开了一种快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统。MBE腔体结构包括：MBE生长腔和快速传样腔，MBE生长腔与快速传样腔相连通，MBE生长腔与快速传样腔之间具有可供掉落的样品通过的连接通道，快速传样腔上设置有用于取出样品的取样口；第一开关机构，设置在MBE生长腔和快速传样腔之间，并用于打开、关闭连接通道；第二开关机构，设置在快速传样腔上，并用于打开、关闭取样口；抽真空机构，与快速传样腔连接，并用于将快速传样腔形成真空状态；破真空机构，与快速传样腔连接，并用于破坏快速传样腔内的真空状态。本技术在不需打开MBE腔体的前提下即快速取出掉落样品，极大地节约了人力物力和时间。

【技术实现步骤摘要】

本技术特别涉及一种快速传出掉样的mbe腔体结构及分子束外延生长系统，属于真空外延生长设备。

技术介绍

1、现代科学技术的快速发展使人们对样品生长质量的要求越来越高，尤其是低维纳米体系的研究更加要求晶体薄膜的高质量，这是研究其性质的基础，以开发其巨大的应用潜力。低维纳米体系的制备通常采用机械剥离、化学气相沉积以及分子束外延技术(mbe)的方法制备，其中mbe法由于具有可以生长出高质量、大面积的薄膜以及可以精确控制薄膜层数、掺杂比例等优势而被广泛应用。通常与一些超高真空设备空(ultra-high vacuum，uhv)如扫描隧道显微镜(stm)、角分辨光电子能谱(arpes)、x射线光电子能谱(x-rayphotoelectron spectroscopy，xps)等结合使用以进行样品表征及性能测试。样品的高质量意味着对超高真空(uhv)环境的需求愈专利技术显。同时样品在分子生长，性能表征，器件测试等相关设备之间的转移也至关重要；因为在转移时，样品表面极易受到大气中的气体分子吸附以及杂质的污染。为了解决表面氧化、吸附和尘埃污染等问题，中国科学院苏州纳米技术与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种快速传出掉样的MBE腔体结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的快速传出掉样的MBE腔体结构，其特征在于：所述连接通道沿重力方向设置在所述MBE生长腔的底部。

3.根据权利要求2所述的快速传出掉样的MBE腔体结构，其特征在于：所述MBE生长腔内部还设置有引导结构，所述引导结构具有指向所述连接通道的引导斜面。

4.根据权利要求3所述的快速传出掉样的MBE腔体结构，其特征在于：所述样品引导结构为环绕所述连接通道设置的环形结构，或者，所述MBE生长腔内部设置有多个所述引导结构，多个所述引导结构环绕所述连接通道设置。>

5.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种快速传出掉样的mbe腔体结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的快速传出掉样的mbe腔体结构，其特征在于：所述连接通道沿重力方向设置在所述mbe生长腔的底部。

3.根据权利要求2所述的快速传出掉样的mbe腔体结构，其特征在于：所述mbe生长腔内部还设置有引导结构，所述引导结构具有指向所述连接通道的引导斜面。

4.根据权利要求3所述的快速传出掉样的mbe腔体结构，其特征在于：所述样品引导结构为环绕所述连接通道设置的环形结构，或者，所述mbe生长腔内部设置有多个所述引导结构，多个所述引导结构环绕所述连接通道设置。

5.根据权利要求1所述的快速传出掉样的mbe腔体结构，其特征在于：至少所述连接通道的内壁的局部是沿所述mbe生长腔指向所述快速传样腔的方向倾斜的斜面。

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：张莹莹，陈爱喜，李坊森，冀连连，龚忠苗，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：新型
国别省市：