温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种静电区可调的静电吸盘，该静电吸盘采用铝制机壳作为主体，并内置J‑R力生成组件。在机壳的顶部设有调节机构，该调节机构包括至少三个沿同轴环形阵列式排布的线性自由度。每个线性自由度在水平面上呈交错排列，当执行线性自由度时，会驱动一...
该专利属于苏州盛拓半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州盛拓半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。