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本发明适用于靶材加工设备技术领域，提供了一种超硬平面靶材的切割设备；包括：设备主体，所述设备主体内部设置有线切割装置；设置在设备主体上的安装平台，所述安装平台用于对平面靶材进行夹紧和输送；和冷却液回收装置，所述冷却液回收装置包括积液槽、过滤...
该专利属于安徽中晶新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽中晶新材料有限公司授权不得商用。

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