一种超硬平面靶材的切割设备制造技术

本发明专利技术适用于靶材加工设备技术领域，提供了一种超硬平面靶材的切割设备；包括：设备主体，所述设备主体内部设置有线切割装置；设置在设备主体上的安装平台，所述安装平台用于对平面靶材进行夹紧和输送；和冷却液回收装置，所述冷却液回收装置包括积液槽、过滤回收装置、给液喷头和输送系统；所述积液槽设置在设备主体上，所述积液槽内部设置有过滤回收装置，所述给液喷头设置在设备主体上用于向线切割装置提供冷却液；所述输送系统的输入端与积液槽内部连通，所述输送系统的输出端与给液喷头的输入端连通；本发明专利技术通过设置过滤网、限位机构和液动组件等机构，实现了过滤网的自动清理，提高了过滤效率，不需要对过滤网定期进行拆卸清理，食用更加方便；通过设置倒水桶能够为过滤网转动提供足够的能量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材加工设备，具体是一种超硬平面靶材的切割设备。

技术介绍

1、靶材，也称为溅射靶材，是一种在物理气相沉积(pvd)技术中使用的关键材料，它在半导体、平板显示、太阳能电池、记录媒体等领域中有着广泛的应用。靶材通常由高纯度的金属、合金或陶瓷化合物制成，其纯度、尺寸和微观结构对薄膜的性能有着决定性的影响。靶材的种类繁多，可以根据形状、化学成分和应用领域进行分类。常见的靶材包括铜、铝、钼和i to(掺锡氧化铟)等。它们可以是平面的，也可以是旋转的，以提高溅射过程中的效率和均匀性。靶材的制备过程包括原料选择、熔炼混合、热处理、冷变形与退火、机加工和质量检验等步骤。

2、靶材在加工过程中需要对其进行切割，在对超硬平面靶材切割过程中需要添加冷却液，现有技术一种超硬平面靶材的切割设备(专利申请号：201820425811.x)，包括机架、切割装置和装夹平台，切割装置和装夹平台分别固定于机架的上部，该切割装置设置有替换使用的钼线、驱动轮和若干引导轮，钼线顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮和引导轮，其中择选的两个引导轮之间形成一切割部，用于切割夹放于装夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超硬平面靶材的切割设备，包括：设备主体(10)，所述设备主体(10)内部设置有线切割装置；

2.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述收渣槽(307)底部设置有排水阀(332)。

3.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，限位机构包括固定安装在箱体(333)内部的第二安装环(315)，所述过滤网(306)底部设置有第一安装环(310)，所述第一安装环(310)与第二安装环(315)同心设置，所述第一安装环(310)设置在第二安装环(315)内部，所述第二安装环(315)外侧对称设置有第一限位杆(316)，所述...

【技术特征摘要】

1.一种超硬平面靶材的切割设备，包括：设备主体(10)，所述设备主体(10)内部设置有线切割装置；

2.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述收渣槽(307)底部设置有排水阀(332)。

3.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，限位机构包括固定安装在箱体(333)内部的第二安装环(315)，所述过滤网(306)底部设置有第一安装环(310)，所述第一安装环(310)与第二安装环(315)同心设置，所述第一安装环(310)设置在第二安装环(315)内部，所述第二安装环(315)外侧对称设置有第一限位杆(316)，所述第一限位杆(316)沿着第一安装环(310)径向弹性设置在第一安装环(310)中，且第一限位杆(316)一端外漏设置；所述第二安装环(315)内壁上设置有若干条状限位槽(327)，所述第二安装环(315)内壁上还设置有导向环形槽(329)，所述导向环形槽(329)设置在条状限位槽(327)的上方设置。

4.根据权利要求3所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述条状限位槽(327)不少于两个设置。

5.根据权利要求2所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述积液槽(301)顶部开口位置设置有初级过滤网。

6.根据权利要求3所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述第二安装环(315)内侧还设置有限位台阶(328)，所述限位台阶(328)下端抵触在第一安装环(310)上的向内收缩的...

【专利技术属性】
技术研发人员：程平，
申请(专利权)人：安徽中晶新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：