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本发明揭示了一种硅片超声波清洗装置，包括清洗槽、机箱、动力组件、传动机构、托架、硅片夹具；清洗槽设置于机箱顶部，托架与清洗槽固定连接，以支撑硅片夹具悬设于清洗槽内；动力组件设置于机箱内部并通过传动机构与硅片夹具动力连接，以驱动硅片夹具旋动；...
该专利属于苏州科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科技大学授权不得商用。

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