下载溅镀转盘及其应用的溅镀装置的技术资料

文档序号:4358518

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一种溅镀转盘,其包括一个基体,一个驱动装置,至少一个传动装置。所述基体连接在驱动装置上,所述传动装置可转动地连接在所述基体上并与所述驱动装置相啮合。所述基体包括一个上表面以及一个下表面,在所述上表面上开设有至少一个凹槽用以容置待溅镀基板,所...
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