下载溅镀式镀膜装置的技术资料

文档序号:4358450

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一种用于对待镀工件进行镀膜的溅镀式镀膜装置,其包括腔体、阴极、阳极、承载组件以及靶材。该腔体形成有工作室。该阴极与该阳极相对地设置在该工作室内。该承载组件设置在该工作室内并位于该阴极与该阳极之间,该承载组件包括转动件以及中空载盘。该转动件可...
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