下载镀膜装置的技术资料

文档序号:4358208

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一种镀膜装置,其包括第一镀膜腔及承载组件。承载组件包括操作杆及两个固定于操作杆上并以操作杆对称分布的承载座。每个承载座用于固定一镀膜基板。第一镀膜腔包括两个并排设置的第一子腔体及第二子腔体。第一子腔体及第二子腔体与第一镀膜腔的底壁共同形成沿...
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