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本发明涉及集成电路加工设备技术领域，公开了一种无尘室高精密半导体集成电路生产设备减振基座，包括，底壳，底壳包括围壳和底板，围壳内部设置有第一支撑架和第二支撑架，第一支撑架和第二支撑架均通过减震连接件设置于围壳顶部，减震连接件设置有若干个，分...
该专利属于江苏瑞鑫集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏瑞鑫集成电路设备有限公司授权不得商用。

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