下载微机电振镜及其制作方法的技术资料

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一种微机电振镜及其制作方法。该微机电振镜包括第一基板、第二基板和反射镜;第一基板包括衬底基板和位于衬底基板上的驱动机构;第二基板位于第一基板的一侧,且包括振镜载台、扭转梁和扭转挡板;反射镜位于振镜载台上;驱动机构包括静驱动结构、动驱动结构和...
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