【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例涉及一种微机电振镜及其制作方法。
技术介绍
1、微机电振镜(mems振镜)是一种采用微机电系统(mems)技术制作而成的微型的可驱动的反射镜。微机电振镜的镜面直径通常只有几毫米，与传统光学扫描镜相比，具有重量轻，体积小，易于大批量生产，生产成本较低的优点。另一方面，在光学性能、机械性能和功耗方面，微机电振镜的表现更加突出。
2、微机电振镜的主要应用领域包括但不限于激光扫描、光通讯和数字显示领域。目前，微机电振镜在激光雷达、条形码扫描、高清投影、激光共焦显微系统，ar等市场都有了成熟的运用。微机电振镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转微机电振镜振镜，当其光学偏转角度较大(达到10°以上)，可以实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描。
3、微机电振镜可采用静电驱动、电磁驱动、电热驱动和压电驱动四种驱动方式；静电驱动是通过在平行板电极或者梳齿电极间施加高压来产生静电力进行驱动的方式，且因其具有结构简单，尺寸小，工艺成熟的特点而被广泛应用。
技术实现思路p>
1、本公开本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种微机电振镜，包括：
2.根据权利要求1所述的微机电振镜，其中，所述静驱动结构包括远离所述衬底基板的上表面，所述上表面所在的平面与所述动驱动结构相交。
3.根据权利要求1所述的微机电振镜，其中，所述静驱动结构与所述衬底基板接触设置，所述动驱动结构与所述衬底基板相对且间隔设置。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的微机电振镜，其中，所述扭转挡板包括至少一个子扭转挡板，所述驱动挡板包括至少一个子驱动挡板。
5.根据权利要求4所述的微机电振镜，其中，所述扭转挡板包括相对且间隔设置的第一子扭转挡板和第二子扭转挡板。
...【技术特征摘要】
1.一种微机电振镜，包括：
2.根据权利要求1所述的微机电振镜，其中，所述静驱动结构包括远离所述衬底基板的上表面，所述上表面所在的平面与所述动驱动结构相交。
3.根据权利要求1所述的微机电振镜，其中，所述静驱动结构与所述衬底基板接触设置，所述动驱动结构与所述衬底基板相对且间隔设置。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的微机电振镜，其中，所述扭转挡板包括至少一个子扭转挡板，所述驱动挡板包括至少一个子驱动挡板。
5.根据权利要求4所述的微机电振镜，其中，所述扭转挡板包括相对且间隔设置的第一子扭转挡板和第二子扭转挡板。
6.根据权利要求5所述的微机电振镜，其中，所述驱动挡板包括相对且间隔设置的第一子驱动挡板和第二子驱动挡板，所述第一子驱动挡板被配置为在运动过程中与所述第一子扭转挡板接触，所述第二子驱动挡板被配置为在运动过程中与所述第二子扭转挡板接触。
7.根据权利要求6所述的微机电振镜，其中，所述第一子驱动挡板位于所述第一子扭转挡板远离所述第二子扭转挡板的一侧，所述第二子驱动挡板位于所述第二子扭转挡板远离所述第一子扭转挡板的一侧。
8.根据权利要求5所述的微机电振镜，其中，所述驱动挡板位于所述第一子扭转挡板和所述第二子扭转挡板之间。
9.根据权利要求4所述的微机电振镜，其中，所述驱动挡板包括相对且间隔设置的第一子驱动挡板和第二子驱动挡板，所述扭转挡板位于所述第一子驱动挡板和所述第二子驱动挡板之间。
10.根据权利要求9所述的微机电振镜，其中，所述驱动挡板包括第一部分和第二部分，所述第二部分与底板相对且间隔设置，所述第一部分的一端与所述第二部分相连，另一端与所述动驱动结构相连。
11.根据权利要求1-3中任一项所述的微机电振镜，其中，所述静驱动结构包括在第一方向上排列的第一静驱动结构和第二静驱动结构，所述动驱动结构包括在所述第一方向上排列的第一动驱动结构和第二动驱动结构，
12.根据权利要求11所述的微机电振镜，其中，第一动驱动结构和第二动驱动结构通过连接部件固定相连。
13.根据权利要求12所述的微机电振镜，其中，所述连...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵建昀，郭景文，李春昕，吴倩红，刘建兴，曹子博，李必奇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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