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本技术提供支路进气结构及等离子体刻蚀设备，环形匀气管的b个喷气孔与喷气结构可拆卸连接，其他喷气孔与堵头结构可拆卸连接，喷气结构由第一连接管道和喷气面组成，环形匀气管内的流体可从喷气面喷出；堵头结构由第二连接管道和堵头面组成，环形匀气管内的流...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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