下载半导体式气体传感器的技术资料

文档序号:43574027

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本发明的半导体式气体传感器通过加热器层高效地加热电极层间的气体感测层。气体传感器(1)具备:一对电极层(3、3),形成于绝缘性的基板(2)上;加热器层(7),形成于基板(2)上;以及气体感测层(5),以跨于基板(2)上、电极层(3、3)上以...
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