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本发明涉及一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法，其中装置包括：激光源、准直扩束镜、分束立方体和探测器，准直扩束镜将激光源生成的激光转换为均匀平行光，均匀平行光经分束立方体透射至待测的空间光调制器后，待测的空间光调制器反...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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