【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，尤其是涉及一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法。
技术介绍
1、空间光调制器(spatial light modulator,slm)是一种能够在空间域中调制光波的光学元件。它通常由液晶阵列组成，通过控制液晶的状态来调制光的强度、相位或偏振状态。空间光调制器在光学和成像系统中具有广泛的应用，包括显示技术、激光加工、光学通信、光学计算和干涉测量等。然而，在使用过程中，空间光调制器可能会出现一些缺陷，这些缺陷会影响其性能和输出质量。比如，slm的表面可能存在不规则的形状或不平整，导致光学系统中出现畸变或不均匀的光强分布，影响光的传输质量，从而导致图像模糊或光束失真。此外，slm的gamma曲线校正不正确，也会导致调制状态与预期不符，影响最终的调制效果。slm的调制性能的稳定性和可靠性对系统的整体表现有着重要影响。然而，slm在生产过程中可能会出现面型缺陷以及相位调制不准确的问题。
2、传统的检测方法通常依赖于复杂的设备或耗时的检测过程，这不仅增加了生产成本，也降低了检测效率。
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【技术保护点】
1.一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置，其特征在于，包括激光源(1)、准直扩束镜(2)、分束立方体(3)和探测器(5)，所述准直扩束镜(2)将激光源(1)生成的激光转换为均匀平行光，所述均匀平行光经分束立方体(3)透射至待测的空间光调制器(4)后，待测的空间光调制器(4)反射的光线经分束立方体(3)反射至探测器(5)的输入端，其中，所述空间光调制器(4)被配置为加载柱透镜的相位图进行聚焦；
2.根据权利要求1所述的一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置，其特征在于，所述分束立方体(3)包括半反半透镜，所述均匀平行光经半反半透...
【技术特征摘要】
1.一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置，其特征在于，包括激光源(1)、准直扩束镜(2)、分束立方体(3)和探测器(5)，所述准直扩束镜(2)将激光源(1)生成的激光转换为均匀平行光，所述均匀平行光经分束立方体(3)透射至待测的空间光调制器(4)后，待测的空间光调制器(4)反射的光线经分束立方体(3)反射至探测器(5)的输入端，其中，所述空间光调制器(4)被配置为加载柱透镜的相位图进行聚焦；
2.根据权利要求1所述的一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置，其特征在于，所述分束立方体(3)包括半反半透镜，所述均匀平行光经半反半透镜透射的部分射向待测的空间光调制器(4)；所述待测的空间光调制器(4)聚焦后的光线经半反半透镜反射的部分射向探测器(5)。
3.根据权利要求2所述的一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置，其特征在于，所述分束立方体(3)、探测器(5)和待测的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王夺，杨晨光，王开志，刘晓冰，付天骄，闫浩，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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