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本发明涉及陶瓷基板研磨机技术领域，公开了一种高纯大尺寸氧化铝陶瓷基板研磨机及工艺，所述研磨机包括：研磨台；组装箱，所述组装箱上转动安装有转轴，所述转轴底部与磨头同轴固定连接，且磨头底部卡接有用于定位基板的定位盘；以及弧形盒；转轴旋转时通过传...
该专利属于四川六方钰成电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川六方钰成电子科技有限公司授权不得商用。

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