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本发明涉及蒸镀设备技术领域，具体公开了一种蒸发源结构及蒸发镀膜设备。本发明提供的蒸发源结构，加热装置包括M个加热组件，且M个加热组件沿第二方向依次排布，进而将每个蒸发源组分成多段分别进行加热，实现每个蒸发源组分段分别进行温度控制，使蒸发源组...
该专利属于苏州方昇光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州方昇光电股份有限公司授权不得商用。

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