【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸镀设备，尤其涉及一种蒸发源结构及蒸发镀膜设备。
技术介绍
1、oled作为一种新型的平板显示技术逐渐受到关注，在oled生产中需要将有机材料等物质置于蒸镀设备的蒸发源中进行蒸发，形成的气态有机材料通过蒸发源的蒸发孔喷射到蒸发源上方的基板上，气态有机材料冷凝于基板表面，完成蒸镀作业。
2、现有技术中，蒸镀设备中加热蒸发源的加热装置由多个加热丝组成，多个加热丝的加热功率一致，不能分别进行功率的调节，导致蒸发源中部的加热温度大于两端的加热温度，进而导致基板蒸镀成膜的均一性差，提高了基板蒸镀的不良品率。
3、因此，亟需提供一种蒸发源结构及蒸发镀膜设备以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种蒸发源结构及蒸发镀膜设备，在满足蒸镀需求的前提下，减少了线性蒸发源组设置的数量，降低了蒸发镀膜设备的成本。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一方面，提供一种蒸发源结构，包括：
4、蒸发源组，设...
【技术保护点】
1.蒸发源结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，N组所述蒸发源组(1)沿所述第一方向(a)首尾依次连接形成规则的波浪形形状。
3.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源为点源、线源及点源和线源结合中的一种或几种，N个所述蒸发源组(1)置于同一平面上。
4.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，每个所述蒸发源组(1)上的多个所述蒸发孔(2)排列成多排，多排所述蒸发孔(2)沿着所述蒸发源排列的方向排列，且每排所述蒸发孔(2)沿着所述蒸发源组(1)的宽度方向呈线性排列。
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