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本技术属于薄膜沉积制备技术领域，公开了一种汽化系统以及薄膜沉积设备，汽化系统包括用于储存液态前驱体的储源件、用于输出载气的载气件和汽化器；汽化器与储源件之间通过第一管路连通，第一管路安装有第一流量检测件，第一流量检测件用于检测通入汽化器的前...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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