汽化系统以及薄膜沉积设备技术方案

本技术属于薄膜沉积制备技术领域，公开了一种汽化系统以及薄膜沉积设备，汽化系统包括用于储存液态前驱体的储源件、用于输出载气的载气件和汽化器；汽化器与储源件之间通过第一管路连通，第一管路安装有第一流量检测件，第一流量检测件用于检测通入汽化器的前驱体的流量，汽化器与载气件之间通过第二管路连通，汽化器用于通过第一管路接收前驱体，以及通过第二管路接收载气；汽化器的输出口连通于反应腔室；汽化器用于将液态的前驱体汽化为反应气体，将携带有反应气体的载气通入反应腔室。该汽化系统提高了对前驱体流量检测的准确性；同时避免出现烘焙汽化方法对控制阀、管路等结构造成的高温损坏的风险，提高了汽化系统的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及薄膜沉积制备，尤其涉及一种汽化系统以及薄膜沉积设备。

技术介绍

1、在光伏行业内，在对硅片进行薄膜沉积时，需将前驱体通入反应腔室内沉积，以实现对应膜层的沉积。大多数前驱体在常温下是液体，当进行工艺反应时，就需要将前驱体汽化通入到反应腔室内。

2、目前前驱体汽化通入反应腔室的常用方法有：烘焙汽化方法和鼓泡汽化方法。采用烘焙汽化方法时，需在整个汽化回路中进行加热，该方法耗费能源，同时存在回路中的电器元件和结构件长期经受高温容易损坏的问题。而采用鼓泡汽化方法时，需要往前驱体中通入惰性气体，经由惰性气体携带前驱体进入反应腔室内，由于前驱体混杂着惰性气体，存在难以准确计量通入反应腔内的前驱体的问题。

3、因此，亟需提供一种汽化系统以及薄膜沉积设备，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本技术的一个目的在于提供一种汽化系统，能够提高对前驱体流量检测的准确性；同时避免出现烘焙汽化方法对控制阀、管路等结构造成的高温损坏的风险，提高了汽化系统的使用寿命。

2、为达此目的，本技术采本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.汽化系统，用于为反应腔室(200)供给反应气体，其特征在于，所述汽化系统包括：

2.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，所述第二管路(22)上设有第二流量检测件(23)，所述第二流量检测件(23)用于检测所述第二管路(22)中所述载气的流量。

3.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，所述储源件(10)通过第三管路(52)连通有储气件(51)，所述储气件(51)被配置为向所述储源件(10)输送惰性气体，以推动所述前驱体输出至所述第一管路(41)。

4.根据权利要求3所述的汽化系统，其特征在于，所述储源件(10)设有输入管(11)和输出管(...

【技术特征摘要】

1.汽化系统，用于为反应腔室(200)供给反应气体，其特征在于，所述汽化系统包括：

2.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，所述第二管路(22)上设有第二流量检测件(23)，所述第二流量检测件(23)用于检测所述第二管路(22)中所述载气的流量。

3.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，所述储源件(10)通过第三管路(52)连通有储气件(51)，所述储气件(51)被配置为向所述储源件(10)输送惰性气体，以推动所述前驱体输出至所述第一管路(41)。

4.根据权利要求3所述的汽化系统，其特征在于，所述储源件(10)设有输入管(11)和输出管(12)，所述输入管(11)连通于所述第三管路(52)，所述输出管(12)连通于所述第一管路(41)，其中，所述输入管(11)远离所述储源件(10)的所述前驱体，所述输出管(12)伸入所述储源件(10)的所述前驱体。

5.根据权利要求4所述的汽化系统，其特征在于，所述第三管路(52)上设有单向阀(53)，所述单向阀(53)用于防止惰性气体或液态的所述前驱体逆流。

6.根据权利要求3所述的汽化系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，孔琪，董雪迪，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：