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本发明公开了一种硅铝靶材及其制备方法，属于金属加工领域，该方法采用等离子喷涂工艺，在产品制备时，通过旋转喷涂背管的特殊加护设计以及选择特殊粒径的粉末原料，使得制备的产品可以在高密度，没有明显裂纹的品质基础上，具有高沉积率，生产效率高。...
该专利属于先导薄膜材料（淄博）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（淄博）有限公司授权不得商用。

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