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本发明涉及关于掩膜板清洗设备技术领域的一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置。包括有安装架,所述安装架的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块,所述电动滑块滑动连接有滑动架,所述滑动架的下侧固接有镜像且等距分布的固定杆,所述固定杆的下侧设置有滑动块,...该专利属于江苏路芯半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏路芯半导体技术有限公司授权不得商用。
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