一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及关于掩膜板清洗设备技术领域的一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置。包括有安装架，所述安装架的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块，所述电动滑块滑动连接有滑动架，所述滑动架的下侧固接有镜像且等距分布的固定杆，所述固定杆的下侧设置有滑动块，所述滑动块的下侧滑动连接有支撑板，镜像所述滑动块的相向侧均设置有固定壳，所述固定壳的下侧滑动连接有吸附壳，所述吸附壳的下侧设置有橡胶圈。本发明专利技术通过吸附壳对掩膜板的吸附上升，配合支撑板的支撑作用，达到对掩膜板稳定夹持的目的，避免了夹取掩膜板时夹持力控制不准确的情况，提高了掩膜板被夹持移动过程中的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及关于掩膜板清洗设备的一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置。

技术介绍

1、掩膜板是一种用于半导体制造和微纳加工领域的核心零部件，掩膜板上精密的图案直接影响集成电路、显示屏等高科技产品的功能与质量。掩膜版产品在工艺完成后，表面会存在光阻、有机污染物、金属碎屑、尘埃和残胶等附着物。由于石英掩膜板是用于光刻工艺中生产晶圆的重要物体，所以石英掩膜板表面的附着物会直接影响光刻工艺中生产出晶圆的良品率，因此在石英掩膜板去胶完成后，操作人员需对石英掩膜板进行彻底的清洗，然而，现有的清洗装置夹持石英掩膜板进行清洗时，通常是使用支架托住石英掩膜板的下侧，结合超声波清洗技术对石英掩膜板进行清洗，在支架托住石英掩膜板下侧移动和浸入清洁液进行超声波清洗的过程中，掩膜板移动的惯性和清洁液的流动均会使石英掩膜板出现与支架相对移动的情况，导致石英掩膜板的背面受支架摩擦产生划痕，划痕会使石英掩膜板在光刻过程中的透光率下降，影响石英掩膜板生产出晶圆的质量，同时若采用夹具夹持石英掩膜板的两侧进行移动，夹具夹持石英掩膜板的力度难以准确控制，导致石英掩膜板出现破碎或掉落的情况，降低石英本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩膜板夹具，包括有安装架（1），所述安装架（1）的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块（2），所述电动滑块（2）滑动连接有滑动架（3），所述电动滑块（2）固接有第一电推杆（4），所述第一电推杆（4）的伸缩端与所述滑动架（3）固接，其特征在于：还包括有镜像且等距分布的固定杆（5），镜像且等距分布的所述固定杆（5）均固接于所述滑动架（3）的下侧，所述固定杆（5）的下侧设置有滑动块（6），所述滑动块（6）的下侧滑动连接有支撑板（7），所述支撑板（7）与对应所述滑动块（6）之间固接有拉簧，镜像所述滑动块（6）的相向侧均设置有固定壳（8），所述固定壳（8）的下侧滑动连接有吸附壳（9），所述吸...

【技术特征摘要】

1.一种掩膜板夹具，包括有安装架（1），所述安装架（1）的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块（2），所述电动滑块（2）滑动连接有滑动架（3），所述电动滑块（2）固接有第一电推杆（4），所述第一电推杆（4）的伸缩端与所述滑动架（3）固接，其特征在于：还包括有镜像且等距分布的固定杆（5），镜像且等距分布的所述固定杆（5）均固接于所述滑动架（3）的下侧，所述固定杆（5）的下侧设置有滑动块（6），所述滑动块（6）的下侧滑动连接有支撑板（7），所述支撑板（7）与对应所述滑动块（6）之间固接有拉簧，镜像所述滑动块（6）的相向侧均设置有固定壳（8），所述固定壳（8）的下侧滑动连接有吸附壳（9），所述吸附壳（9）的下侧设置有橡胶圈，所述吸附壳（9）的上侧设置有通孔，所述固定壳（8）的侧壁上设置有用于控制对应所述吸附壳（9）进行吸附的吸附机构，所述滑动架（3）上设置有用于控制镜像且等距分布的所述支撑板（7）复位的复位机构。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板夹具，其特征在于：所述吸附机构包括有抽气筒（201），所述抽气筒（201）固接于对应所述固定壳（8）的侧壁上，所述抽气筒（201）与对应所述固定壳（8）的上部连通，所述抽气筒（201）内滑动连接有活塞连杆（202），所述抽气筒（201）与对应所述活塞连杆（202）之间固接有拉簧，所述固定壳（8）内滑动连接有固定板（203），所述固定板（203）的中部设置有通孔，所述固定板（203）与对应所述吸附壳（9）之间固接有弹簧，所述固定板（203）与对应所述固定壳（8）之间固接有弹簧，所述固定板（203）上设置有用于控制对应所述吸附壳（9）吸附移动的移动组件，所述抽气筒（201）上设置有用于控制对应所述支撑板（7）移动支撑的控制组件，所述滑动块（6）的下侧设置有用于控制对应所述吸附壳（9）挤压夹持掩膜板的夹持组件。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜板夹具，其特征在于：所述移动组件包括有滑动板（301），所述滑动板（301）滑动连接于对应所述固定板（203）上，所述滑动板（301）上设置有与对应所述固定板（203）通孔连通配合的通孔，所述滑动板（301）与相邻所述固定板（203）之间固接有弹簧，所述固定壳（8）的上侧设置有通孔，所述固定壳（8）的上侧滑动连接有与其通孔封堵配合的滑动片（302），所述活塞连杆（202）靠近相邻所述固定壳（8）的一侧固接有与相邻所述滑动板（301）挤压配合的挤压杆（303），所述挤压杆（303）穿透相邻所述固定壳（8）和相邻所述抽气筒（201），所述挤压杆（303）与相邻所述固定板（203）限位配合。

4.根据权利要求3所述的一种掩膜板夹具，其特征在于：所述控制组件包括有第一弹性伸缩杆（401），所述第一弹性伸缩杆（401）固接于相邻所述抽气筒（201）的侧壁，所述第一弹性伸缩杆（401）的伸缩端与相邻所述活塞连杆（202）挤压配合，所述第一弹性伸缩杆（401）连通有导液管（402），所述滑动块（6）的下侧设置有与所述导液管（402）连通的空腔，所述支撑板（7）上设置有凹槽，所述滑动块（6）的空腔内滑动连接有与相邻所述支撑板（7）上凹槽限位配合的限位块（403），所述抽气筒（201）远离相邻所述固定壳（8）的一侧限位滑动连接有限位板（404），所述活塞连杆（202）的一侧设置有与对应所述限位板（404）限位配合的盲孔，所述限位板（404）与相邻所述吸附壳（9）之间固接有弹簧。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜板夹具，其特征在于：所述夹持组件包括有第二弹性伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘维维，尤春，张月圆，朱明伟，朱希进，
申请(专利权)人：江苏路芯半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：