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本申请实施例提供了一种喷淋装置以及沉积设备，喷淋装置包括：喷淋板，喷淋板具有N个喷淋孔，每个喷淋孔均沿喷淋板的厚度方向贯穿喷淋板；第一垫板，第一垫板具有N个第一通孔，每个第一通孔均沿第一垫板的厚度方向贯穿第一垫板；第二垫板，第二垫板具有N个...
该专利属于江苏首芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏首芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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