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本公开提供一种微流控芯片,包括第一基板,所述第一基板包括:第一走线层,其包括具有第一线宽的第一走线、第一驱动电极和第一控制电极;绝缘层,其位于所述第一走线层上;第二走线层,其位于所述绝缘层上,并且包括具有第二线宽的第二走线;介质层,其位于所...该专利属于北京京东方传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方传感技术有限公司授权不得商用。
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本公开提供一种微流控芯片,包括第一基板,所述第一基板包括:第一走线层,其包括具有第一线宽的第一走线、第一驱动电极和第一控制电极;绝缘层,其位于所述第一走线层上;第二走线层,其位于所述绝缘层上,并且包括具有第二线宽的第二走线;介质层,其位于所...