微流控芯片制造技术

本公开提供一种微流控芯片，包括第一基板，所述第一基板包括：第一走线层，其包括具有第一线宽的第一走线、第一驱动电极和第一控制电极；绝缘层，其位于所述第一走线层上；第二走线层，其位于所述绝缘层上，并且包括具有第二线宽的第二走线；介质层，其位于所述第二走线层上；以及疏水层，其位于所述介质层上，其中，所述第一走线配置为连接所述第一驱动电极和所述第一控制电极，并且所述第二走线配置为通过穿过所述绝缘层的过孔连接与不同的第一驱动电极连接的所述第一走线，所述第一走线和所述第二走线在所述第一基板上的正投影交叠，交叠区域的面积大于所述第一线宽与所述第二线宽的乘积。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及生物医学检测领域，具体地，涉及一种微流控芯片。

技术介绍

1、微流控技术是一种精确控制和操作微尺度流体的技术，通过此项技术，研究人员可以把样品制备、反应、分离、检测等基本操作集成到一块厘米级的芯片上。微流控技术一般应用于生物、化学、制药等领域的微量药品的分析过程。数字微流控芯片将液滴作为操控对象，通过电场力、热力、静电力等来控制液滴的运动。

2、为应对复杂的生化流程，无源数字微流控芯片采用多层金属设计，以便实现对大量驱动电极的操控，这不可避免地会出现不同金属层之间的金属走线交叠。在这些交叠位置处易发生静电击穿，从而导致芯片驱动失效。

技术实现思路

1、针对上述问题，本公开提出了一种微流控芯片。

2、本公开的一个方面提供一种微流控芯片，包括第一基板，所述第一基板包括：第一走线层，其包括具有第一线宽的第一走线、第一驱动电极和第一控制电极；绝缘层，其位于所述第一走线层上；第二走线层，其位于所述绝缘层上，并且包括具有第二线宽的第二走线；介质层，其位于所述第二走线层上；以及疏水层，其位本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微流控芯片，包括第一基板，所述第一基板包括：

2.根据权利要求1所述的微流控芯片，其中，

3.根据权利要求2所述的微流控芯片，其中，

4.根据权利要求3所述的微流控芯片，其中，

5.根据权利要求2所述的微流控芯片，其中，

6.根据权利要求5所述的微流控芯片，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的微流控芯片，其中，所述第一走线和所述第二走线在交叠位置处以第一角度相交，所述第一角度在10°至70°之间的范围内。

8.根据权利要求7所述的微流控芯片，其中，所述第一角度在10°至30°之间的范围内。...

【技术特征摘要】

1.一种微流控芯片，包括第一基板，所述第一基板包括：

2.根据权利要求1所述的微流控芯片，其中，

3.根据权利要求2所述的微流控芯片，其中，

4.根据权利要求3所述的微流控芯片，其中，

5.根据权利要求2所述的微流控芯片，其中，

6.根据权利要求5所述的微流控芯片，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的微流控芯片，其中，所述第一走线和所述第二走线在交叠位置处以第一角度相交，所述第一角度在10°至70°之间的范围内。

8.根据权利要求7所述的微流控芯片，其中，所述第一角度在10°至30°之间的范围内。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的微流控芯片，其中，所述第一走线层还包括第一悬浮线，所述第一悬浮线和所述第二走线在所述第一基板上的正投影垂直相交，所述第一悬浮线和所述第二走线在所述第一基板上的正投影的交叠区域邻近于所述第一走线和所述第二走线在所述第一基板上的正投影的交叠区域。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的微流控芯片，其中，所述第二走线层还包括第二悬浮线，所述第二悬浮线和所述第一走线在所述第一基板上的正投影垂直相交，所述第二悬浮线和所述第一走线在所述第一基板上的正投影的交叠区域邻近于所述第一走线和所述第二走线在所述第一基板上的正投...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊博麟，李菲菲，高涌佳，古乐，杨莉，刘华哲，
申请(专利权)人：北京京东方传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：