下载碳化硅晶体生长用助熔剂、立方碳化硅晶体及其生长方法的技术资料

文档序号:43550218

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本发明提供了一种碳化硅晶体生长用助熔剂、立方碳化硅晶体及其生长方法,属于晶体生长技术领域,所述助熔剂为包含稀土金属、过渡金属和碳的合金:所述稀土金属与所述过渡金属的摩尔比为1:9~9:1。本发明提供的助熔剂可以降低碳化硅晶体的生长的温度,实...
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