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本发明属于液晶盒厚度检测技术领域，尤其公开了基于低相干光Mirau干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置，包括纳米定位台、成像系统、计算机、照明系统、Mirau干涉物镜和硅基液晶盒，所述成像系统包括分光棱镜、成像透镜和面阵相机，所述照明系统包...
该专利属于贝耐特光学科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贝耐特光学科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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