【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于液晶盒厚度检测，特别涉及基于低相干光mirau干涉的lcos液晶盒厚度全局检测装置。
技术介绍
1、硅基液晶(liquid crystal on silicon，lcos)是一种反射式液晶微型面板显示技术，具有光利用效率高、体积小、开口率高以及制造技术成熟等特点。但是现有的lcos封装中，lcos为单片制作，其液晶盒厚度一致性不容易保证，厚度容易存在偏差，容易出现产品不合格的现象。
2、传统的液晶盒厚度的检测方法，需要对液晶盒厚度的每个点进行单独检测，并不能对lcos液晶盒厚度进行全局检测，检测效率低下。
3、因此，专利技术基于低相干光mirau干涉的lcos液晶盒厚度全局检测装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术提供了基于低相干光mirau干涉的lcos液晶盒厚度全局检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：基于低相干光mirau干涉的lcos液晶盒厚度全...
【技术保护点】
1.基于低相干光Mirau干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置，其特征在于：包括纳米定位台（13）、成像系统（401）、计算机（16）、照明系统（17）、Mirau干涉物镜（18）和硅基液晶盒（19），所述成像系统（401）包括分光棱镜（4）、成像透镜（14）和面阵相机（15），所述照明系统（17）包括低相干光源（1）、聚光透镜（2）和投影透镜（3），照明系统（17）通过低相干光源（1）连接计算机（16），低相干光源（1）发出的光源通过聚光透镜（2）聚合后，通过投影透镜（3）投影到成像系统（401）的分光棱镜（4）上，分光棱镜（4）将光照射到Mirau干涉物镜（18）...
【技术特征摘要】
1.基于低相干光mirau干涉的lcos液晶盒厚度全局检测装置，其特征在于：包括纳米定位台（13）、成像系统（401）、计算机（16）、照明系统（17）、mirau干涉物镜（18）和硅基液晶盒（19），所述成像系统（401）包括分光棱镜（4）、成像透镜（14）和面阵相机（15），所述照明系统（17）包括低相干光源（1）、聚光透镜（2）和投影透镜（3），照明系统（17）通过低相干光源（1）连接计算机（16），低相干光源（1）发出的光源通过聚光透镜（2）聚合后，通过投影透镜（3）投影到成像系统（401）的分光棱镜（4）上，分光棱镜（4）将光照射到mirau干涉物镜（18）内部，所述硅基液晶盒（19）包括盖板玻璃（10）、多个间隔子（11）和硅基底板（12），在多个间隔子（11）之间添加液晶，所述硅基液晶盒（19）对应放置在纳米定位台（13）顶面，纳米定位台（13）通过导线连接计算机（16），所述纳米定位台（13）内部设置有压电陶瓷，计算机（16）控制纳米定位台（13）工作，纳米定位台（13）通过压电陶瓷在垂直方向实现对硅基液晶盒（19）的纳米级定位，光经过mirau干涉物镜（18）对硅基液晶盒（19）进行照射，经过硅基底板（12）顶面或盖板玻璃（10）底面反射的光返回到mirau干涉物镜（18）内部，在mirau干涉物镜（18）中形成干涉光后传输到分光棱镜（4）中，分光棱镜（4）将干涉光通过成像透镜（14）成像到面阵相机（15）内部，面阵相机（15）将干涉光的光强数据传输给计算机（16），计算机（16）根据干涉光的光强数据从而全局检测硅基液晶盒（19）的液晶厚度；
2.根据权利要求1所述的基于低相干光mirau干涉的lcos液晶盒厚度全局检测装置，其特征在于：所述mirau干涉物镜（18）包括第一物镜透镜（5）、第二物镜透镜（6）、第三物镜透镜（7）、第一玻璃平板（8）和第二玻璃平板（9），第一玻璃平板（8）和第二玻璃平板（9）均倾斜设置，且二者倾斜角度相同，且第一玻璃平板（8）下表面和第二玻璃平板（9）下表面均镀分光膜，光依次经过第一物镜透镜（5）、第二物镜透镜（6）、第三物镜透镜（7）和第一玻璃平板（8）后，一部分光通过第二玻璃平板（9）对硅基液晶盒（19）进行照射，经过硅基底板（12）顶面或盖板玻璃（10）底面反射后，在第二玻璃平板（9）底面形成测试...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖峰，王帅，
申请(专利权)人：贝耐特光学科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。