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本发明涉及一种新布局形式的立式单腔碳化硅外延系统及其工艺流程，它属于碳化硅外延领域。本发明包括主机柜、特气柜、加热柜、动力柜、冷却水柜、控制面板、冷却腔、送料腔、中转腔和反应腔，主机柜、特气柜、加热柜和动力柜从前往后布置，冷却水柜布置于主机...
该专利属于杭州晶驰机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州晶驰机电科技有限公司授权不得商用。

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