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本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种降低晶片表面颗粒度的清洁方法及系统。方法包括步骤：采集温度数据，获取每个温度数据的可信度，并对每个温度数据的可信度进行修正，得到每个温度数据的修正可信度，获取每个类的加权平均结果以及获取每个类的直径，...
该专利属于青岛华芯晶电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛华芯晶电科技有限公司授权不得商用。

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