下载一种碳化硅晶体炉坩埚升降装置及控制方法的技术资料

文档序号:43545511

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本发明涉及碳化硅晶体生长技术领域,具体公开了一种碳化硅晶体炉坩埚升降装置及控制方法,包括拆装设置在炉体外壁的加热机构和设置在台体内部用于带动坩埚升降的升降机构,所述台体的顶部固定设有隔热座,隔热座的顶部套设有用于放置坩埚的放置座,本发明通过...
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