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本技术涉及一种等离子体电感耦合去胶装置，包括了进气装置、等离子体生产室、耦合装置、匀气装置、去胶反应室以及抽气装置，所述进气装置、等离子体生产室、去胶反应室以及抽气装置依次连通，所述等离子体生产室的外壁套接有耦合装置，所述匀气装置设置于等离...
该专利属于东莞市晟鼎精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市晟鼎精密仪器有限公司授权不得商用。

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