下载晶体生长炉的技术资料

文档序号:43535009

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种晶体生长炉,该晶体生长炉包括机架、提拉组件、副炉室、主炉室、坩埚和旋转升降组件。提拉组件设置于机架上;副炉室位于提拉组件的下侧;主炉室位于副炉室的下侧;坩埚位于主炉室内;旋转升降组件驱动坩埚的旋转和升降;旋转升降组件包括第一...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。