晶体生长炉制造技术

本申请公开了一种晶体生长炉，该晶体生长炉包括机架、提拉组件、副炉室、主炉室、坩埚和旋转升降组件。提拉组件设置于机架上；副炉室位于提拉组件的下侧；主炉室位于副炉室的下侧；坩埚位于主炉室内；旋转升降组件驱动坩埚的旋转和升降；旋转升降组件包括第一移动轴、第二移动轴、驱动机构和碟刹机构，第二移动轴与第一移动轴连接，第二移动轴支撑坩埚；驱动机构传动连接至第一移动轴，驱动第一移动轴旋转和升降；碟刹机构包括固定连接至第一移动轴上的盘状结构以及设置于机架上的锁止结构，锁止结构具有夹持盘状结构的锁止状态以及与盘状结构分离的解锁状态。通过上述设置，可以有利于第一移动轴和第二移动轴的拆卸或安装。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶体加工设备，尤其是指一种晶体生长炉。

技术介绍

1、晶体生长技术是利用物质(液态、固态、气态)的物理化学性质控制相变过程，获得具有一定结构、尺寸、形状和性能的晶体的技术。

2、晶体生长炉是一种用于晶体生长培育工作的专业装置，其目的是为了通过环境调控的方式，给晶体生长提供必要条件，并提升晶体生长的速度。

3、现有的晶体生长炉，往往是通过直拉法制备单晶硅棒。直拉法制备单晶硅棒主要将原料多晶硅填入石英坩埚中，利用加热器对石英坩埚加热，以使石英坩埚中的原料多晶硅熔化为硅熔体，将籽晶(单晶)浸入硅熔体中，利用提拉系统边旋转边拉动籽晶，使硅熔体沿着拉动方向生长，从而获得满足直径和长度需求的晶棒。

4、其中，石英坩埚的旋转和升降通过旋转升降组件实现。具体地，选装升降组件包括相互连接的石墨轴和金属轴，石墨轴支撑石英坩埚，金属轴带动石墨轴转动和升降。

5、但是现有的金属轴和石墨轴通过螺栓连接，当晶体生长炉的工作时间过长时会导致螺栓融化，从而使得金属轴和石墨轴不易分离。

>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种晶体生长炉，包括：

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述锁止结构包括位于所述盘状结构上下两侧的两个锁止件以及驱动所述锁止件的驱动件，当所述锁止结构处于锁止状态时，所述驱动件驱动两个所述锁止件相向移动，以夹持所述盘状结构，当所述锁止结构处于解锁状态时，所述驱动件驱动两个所述锁止件相背移动，以使所述锁止件与所述盘状结构分离。

3.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述驱动机构包括丝杆结构和旋转结构，所述丝杆结构和所述旋转结构均位于所述机架上，所述丝杆结构驱动所述第一移动轴升降，所述旋转结构驱动所述第一移动轴旋转。</p>

4.根据...

【技术特征摘要】

1.一种晶体生长炉，包括：

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述锁止结构包括位于所述盘状结构上下两侧的两个锁止件以及驱动所述锁止件的驱动件，当所述锁止结构处于锁止状态时，所述驱动件驱动两个所述锁止件相向移动，以夹持所述盘状结构，当所述锁止结构处于解锁状态时，所述驱动件驱动两个所述锁止件相背移动，以使所述锁止件与所述盘状结构分离。

3.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述驱动机构包括丝杆结构和旋转结构，所述丝杆结构和所述旋转结构均位于所述机架上，所述丝杆结构驱动所述第一移动轴升降，所述旋转结构驱动所述第一移动轴旋转。

4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述第一移动轴位于所述机架的前侧，从前后方向观察，所述第一移动轴和所述丝杆结构不重叠。

5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述丝杆结构包括丝杆和提升件，所述丝杆驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，倪军夫，冯贤剑，黄伟，金天宝，李玉刚，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：