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本发明公开了一种离子源测试装置，包括：机架；真空室，设置在所述机架上，其侧壁设有若干能与离子源可拆卸连接并能让离子源的粒子束流进入真空室内的离子源接口；旋转平台，设置在所述真空室内，用于承载待测试晶圆；驱动组件，与所述旋转平台连接，用于驱动...
该专利属于中山凯旋真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山凯旋真空科技股份有限公司授权不得商用。

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