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一种高分辨柔性触觉传感阵列及其制备方法和应用技术
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文档序号:43524793
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本发明涉及一种高分辨柔性触觉传感阵列及其制备方法和应用,所述柔性触觉传感阵列的结构包括下衬底层和上衬底层、下电极层和上电极层、传感材料层和隔离支撑层,所述下衬底层和上衬底层分别位于传感阵列的两侧,所述下电极层的第一表面和所述下衬底层的第二表...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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