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本发明为用于控制平整精加工表面的材料去除速率的施力感测方法。本发明涉及一种调整作用在工件上的力用于控制材料去除速率的方法。加工装置包括负载提供装置，力转换器和施力装置，其中施力装置为工件提供负载以去除材料。通过负载提供装置施加在工件上的力和...
该专利属于索尔-丹福斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尔-丹福斯公司授权不得商用。

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