下载晶体生长炉的技术资料

文档序号:43520527

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本申请公开了一种晶体生长炉,其包括主炉室、炉盖、副炉室、提拉组件,主炉室围绕形成有反应室,炉盖设于反应室的上方,副炉室通过炉盖与主炉室连接,提拉组件设于副炉室的上方,用于提拉晶棒,炉盖上设有观察视窗,观察视窗具有沿预设方向贯穿炉盖的观察孔,...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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