晶体生长炉制造技术

本申请公开了一种晶体生长炉，其包括主炉室、炉盖、副炉室、提拉组件，主炉室围绕形成有反应室，炉盖设于反应室的上方，副炉室通过炉盖与主炉室连接，提拉组件设于副炉室的上方，用于提拉晶棒，炉盖上设有观察视窗，观察视窗具有沿预设方向贯穿炉盖的观察孔，观察孔用于观察反应室内的晶棒反应状况的，观察视窗上装设有沿预设方向分布的第一保护层和观察层，第一保护层位于观察层靠近反应室的一侧，观察层固定装设于观察视窗中，第一保护层可拆地的设于观察视窗中。通过上述设置，避免了观察层的石英玻璃被氧化物污染，通过可拆卸的第一保护层提升了炉盖维护的便捷性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶体生长，尤其是指一种晶体生长炉。

技术介绍

1、晶体生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。

2、主机部分主要由机架、炉体、水冷式阀座、晶体提升及旋转机构、坩埚提升及旋转机构、氩气系统、真空系统及自动炉压检测控制、水冷系统及多种安全保障装置等结构组成。晶棒在生长过程中会产生氧化物并附着在观察孔的石英玻璃上，由于观察孔的石英玻璃不变拆卸，操作人员难以对其进行清洗和维护。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种晶体生长炉，其解决了观察孔的石英玻璃不便于维护的问题。

2、为实现上述目的，本申请采用如下的技术方案：

3、一种晶体生长炉，其包括主炉室、炉盖、副炉室、提拉组件，主炉室围绕形成有反应室，炉盖设于反应室的上方，副炉室通过炉盖与主炉室连接，提拉组件设于副炉室的上方，用于提拉晶棒，炉盖上设有观察视窗，观察视窗具有沿预设方向贯穿炉盖的观察孔，观察孔用于观察反应室内的晶棒反应状况的，观察视窗上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶体生长炉，包括：

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的晶体生长炉，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的晶体生长炉，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种晶体生长炉，包括：

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，倪军夫，阮文星，梁晋辉，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：