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本发明涉及一种用于在真空中保持、定位和/或移动物体的设备，所述设备包括：底座、具有基板保持器的末端执行器、可选地作用于底座上的竖直或升降驱动器和用于所述滑架的磁性支承件。根据本发明，所述线性驱动器构造成能用流体加载的、否则闭合的、带有双作用...
该专利属于威克姆真空部件和技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威克姆真空部件和技术有限公司授权不得商用。

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