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本发明的信息处理装置(5)具备信息取得部(500)和状态预测部(501)，该信息取得部取得动作状态信息作为基板处理装置动作时的动作状态，该基板处理装置具备：保持基板的基板保持部；供给基板清洗流体至基板的清洗流体供给部；将清洗工具支承为能够旋...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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