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功率半导体器件的烧结方法及功率半导体器件技术
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文档序号:43515611
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本发明公开了功率半导体器件的烧结方法及功率半导体器件,包括步骤一:功率半导体器件包括芯片和基板,芯片设置于基板上,芯片包括晶体管层、互联层、存储单元模块、逻辑门电路模块、功能模块和输入与输出接口;步骤二:将芯片和基板通过银烧结方法相互结合;...
该专利属于上海智晶微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海智晶微电子有限公司授权不得商用。
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