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本文公开了一种用于对样本执行非破坏性断层扫描的系统。该系统包括扫描电子显微镜(SEM)和处理器。该SEM被配置为通过分别以多个投射方向和偏移中的每一者将电子束投射到测试样本上，并且针对每个电子束，测量从该测试样本返回的电子的相应强度，来获得...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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