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本发明公开了一种干燥反应釜装置，属于化工设备技术领域。本发明的干燥反应釜装置，包括釜体，釜体至少包含一个进料口和一个出料口，还包括干燥装置，干燥装置设置于反应腔体中，干燥装置包含第一干燥部、第二干燥部、第三干燥部以及供气通道，第一干燥部、第...
该专利属于江苏容导半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏容导半导体科技有限公司授权不得商用。

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